每经AI快讯，3月3日，晶盛机电在投资者关系活动中表示，公司自主研发的12英寸常压硅外延设备顺利交付国内头部客户，其电阻率、厚度均匀性、外延层缺陷密度、生产效率以及工艺重复性等关键指标达到国际先进水平。
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晶盛机电：12英寸碳化硅衬底厚度均匀性≤1μm关键技术突破
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