每日经济新闻

    大族激光:公司自主研发的光刻机项目分辨率为2-3 μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用

    每日经济新闻 2022-11-03 17:37

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:公司自主研发国产光刻机几纳米制程?

    大族激光(002008.SZ)11月3日在投资者互动平台表示,公司自主研发的光刻机项目分辨率为2-3 μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用。

    (记者 毕陆名)

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