每经AI快讯，南大光电（300346.SZ）6月11日在投资者互动平台表示，公司ArF光刻胶产品拿到首个小批量订单，本期有极少量销售额。目前尚未实现稳定量产。
(记者 周宇翔)
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南大光电：公司正在自主研发和产业化的ArF光刻胶可以用于90nm-14nm的集成电路工艺节点
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