每日经济新闻

    晶瑞股份二手光刻机到货 称可用于研发28纳米光刻胶

    每日经济新闻 2021-01-19 23:01

    每经记者 朱成祥    每经编辑 张海妮    

    1月19日晚间,晶瑞股份(300655,SZ)公告称,公司顺利购得ASML XT 1900Gi型光刻机一台。该设备于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步,公司将积极组织相关资源,尽快完成设备的安装调试工作。

    据悉,该型号光刻机可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。一位业内人士向《每日经济新闻》记者讲述了该光刻机的“曲折”故事。该型号光刻机为十年前的产品,本是中国第一批浸没式光刻机,由无锡SK海力士购入。不过之后由于SK海力士工厂起火,更换了制程,这些设备又被运到韩国。现在,其中一台设备又被晶瑞股份购得。 

    2020年9月29日早间,晶瑞股曾发布关于购买设备的公告,称公司为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目,与SK Hynix(即SK海力士)签署设备进口合同,进口ASML光刻机设备,进口代理方为Singtest Technology PTE.LTD.,总价款为1102.5万美元。 

    值得注意的是,《每日经济新闻》记者在1月19日下午两点左右便在一微信群里看到一张照片,该照片显示,晶瑞股份于1月19日召开大会,庆祝搬入ArF浸没式光刻机。该照片透露的信息包括“ArF浸没式光刻机”、“勇攀28纳米高峰”等。

    图片来源:微信群 

    对此,北京市京大(上海)律师事务所幺博文律师对《每日经济新闻》记者表示:“法律规定内幕信息不得公开或者泄漏,该设备购买时已经披露过信息,如果公司提前进行庆祝设备进场的活动,导致股价波动。该行为是否触犯《上市公司信息披露管理办法》第四条,最终应该由监管部门调查确定。” 

    股价走势上,晶瑞股份1月19日上午一度小幅走低,在下午两点之后突然迅速拉升,截至收盘报34.20元/股,全天上涨2.70%。

      

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