万业企业：总面积达109亩、14万方的嘉芯半导体新研发制造基地嘉于今年11月8日正式建成投产

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问嘉兴半导体新厂房投产了吗，上次说的11月投产

万业企业（600641.SH）12月1日在投资者互动平台表示，总面积达109亩、14万方的嘉芯半导体新研发制造基地嘉于今年11月8日正式建成投产，嘉芯半导体是由万业企业和国际技术团队联合创办的集成电路前道设备平台型公司。目前嘉芯半导体业务覆盖刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多类主制程设备以及尾气处理等支撑制程设备，为汽车芯片、功率芯片、逻辑芯片等集成电路晶圆制造厂提供成套的前道设备解决方案。成立至今，嘉芯半导体已成功获得快速热处理（RTP）设备，氮化硅、侧墙、金属等离子刻蚀机，高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD)，掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD），二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD），钛/氮化钛沉积设备（MOCVD），铝铜金属溅射设备（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)），双燃烧+双水洗尾气处理设备等多类设备订单，成立后累计订单金额超4.7亿元。

(记者 蔡鼎)

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