升级！荷兰“光刻机巨头”ASML扩建无锡技术服务基地

5月14日，无锡高新区与阿斯麦（ASML）签署战略合作协议，扩建升级光刻设备技术服务（无锡）基地。 

据了解，阿斯麦（ASML）光刻设备技术服务（无锡）基地涵盖两大业务板块——技术中心和供应链服务中心。其中，技术中心拥有近200人规模专业团队，从事光刻设备的维护、升级等技术服务，面积约2000余平方米；供应链服务中心则为客户提供高效的供应链服务，为设备安装、升级及生产运营等所需的物料提供更高水准的物流支持，面积约2000余平方米。 

众所周知，光刻机为半导体制造的核心设备，也被誉为“工业皇冠上的宝石”。而ASML在最近十几年来异军突起，超越尼康、佳能，成为光刻机领域执牛耳者。目前，最为先进的EUV（极紫外光源）光刻机，全世界仅有ASML一家能够提供。 

对于ASML在无锡扩建光刻设备服务基地，一位半导体业内人士对《每日经济新闻》记者表示：“因为光刻机比较‘精密’，所以设备运过来之后，装调也是相当重要的一个环节。一般大件、精密、高价值（的设备）都得有专人维护着，比如飞机发动机等，需要有定期的检修之类。（光刻机）出厂，先船运、空运到安装地，然后放着等待技术人员装调。以前尼康、佳能的光刻机，光是装调就需要几个月，至少不低于1个月。” 

对于装调的重要性，其表示：“光学设备和其他装备不大一样，光学设备一般都有人数较多的装调团队，并且装调也是光学设备里面一项重要工作，ASML在193nm就是靠装调PK掉了日本的尼康和佳能。” 

该业内人士进一步认为，无锡基地200人的专业技术团队也不一定够，“（光刻机）这种娇贵的东西，一般维护都很费劲”。另外，据其估计，ASML无锡技术服务基地将不仅仅服务无锡，而是整个长三角地区。 

据记者不完全统计，目前长三角先进制程（28nm及以下）半导体工厂有中芯国际上海基地（包括中芯南方14nm）、南京台积电工厂、无锡SK海力士DRAM工厂、合肥长鑫DRAM工厂等。另外，近期华虹半导体无锡基地12英寸生产线实现了高性能90nm FSI工艺平台产品投片。

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