国产光刻核心零部件实现技术突破，半导体设备ETF易方达（159558）今日获1.53亿份净申购

截至收盘，上证科创板芯片设计主题指数上涨0.3%，上证科创板芯片指数上涨0.01%，中证芯片产业指数下跌0.3%，中证半导体材料设备主题指数下跌0.8%。同花顺iFinD数据显示，半导体设备ETF易方达（159558，联接基金A/C：021893/021894）今日获1.53亿份净申购。

消息面上，国产极紫外（EUV）光源系统样机在第二十六届中国国际工业博览会首次公开亮相，国产化率达90%，技术路线与国际领先厂商一致。EUV光源是7nm及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外垄断，此次样机亮相被视为国产高端光刻机攻坚的“从0到1”工程验证。