半导体设备ETF国泰（159516）昨日净流入超14亿元，资金逆势加仓国产替代核心赛道

5月27日，A股市场整体承压，上证指数收跌1.25%，创业板指微涨0.07%，科技板块出现阶段性整固。在此背景下，半导体设备ETF国泰（159516）盘中波动加剧，单日成交额高达39.27亿元，流动性持续处于同类产品前列。值得注意的是，资金布局节奏明显提速：该ETF总份额由5月21日的211.69亿份增至215.73亿份，增幅达1.9%；上一交易日资金净流入14.06亿元，这一数据凸显机构对半导体设备环节“硬缺口+强替代”的战略定力68。

多家券商研报持续投资逻辑：华西证券指出，2026年Q1半导体设备板块资金净流入3.1亿元，2020年以来拥挤度分位数仅12.9%，显著低于通信、AI等高热赛道，具备“高低切”承接优势；其上涨10.35%的单周表现与2026年以来超114亿元累计净流入，印证资金正以ETF为工具，在高景气确定性与低交易拥挤度之间寻求最优解。中信建投亦强调，受美国MATCH法案升级影响，浸没式光刻机管制扩大、低温蚀刻与薄膜沉积设备技术支持被禁，国产设备厂商技术验证与客户导入进程反而加速，设备自主可控已从政策叙事升维为供应链刚性需求。

综上，半导体设备ETF国泰（159516）既是国产算力新基建的“卡脖子攻坚载体”，也是AI资本开支传导链中“最先受益、最可持续”的细分抓手。在份额扩张、资金净流入、产业验证三重信号共振下，其配置价值正从主题博弈转向长期战略锚点。

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