创历史新高！高“设备”含量的科创半导体ETF（588170）最新规模达90.53亿元

截至2026年3月2日 09点48分，科创半导体ETF（588170）下跌1.07%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.50%。

热门个股方面涨跌互现，晶升股份领涨6.98%，拓荆科技上涨2.20%，金宏气体上涨1.84%；耐科装备领跌3.83%，有研硅下跌3.45%，沪硅产业下跌3.41%。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手2.45%，成交2.20亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手1.25%，成交3316.04万元。

规模方面，科创半导体ETF最新规模达90.53亿元，创成立以来新高，领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达26.72亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流入4.69亿元。拉长时间看，近4个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”5.65亿元，日均净流入达1.41亿元。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。