半导体设备板块早盘震荡，指数几度翻红，半导体设备ETF易方达（159558）受资金关注

截至午间收盘，中证云计算与大数据主题指数下跌4.3%，中证芯片产业指数下跌2.8%，中证半导体材料设备主题指数下跌1.0%。Wind数据显示，截至昨日，半导体设备ETF易方达（159558）近一月净流入达29亿元。

国金证券认为，半导体设备是半导体产业链的基石，存储扩产与自主可控共振，国产化空间广阔。存储芯片架构从2D向3D深层次变革，随着3D DRAM技术引入以及NAND堆叠层数向5xx层及以上演进，制造工艺中对高深宽比刻蚀及先进薄膜沉积的要求呈指数级提升，相关设备厂商将深度受益于工艺复杂度提升带来的红利。