苏大维格：常州维普光掩模缺陷检测设备已进入多家头部厂商量产线

每日经济新闻 2026-01-20 19:16

每经AI快讯，1月20日，苏大维格在投资者关系活动中表示，常州维普主营业务为光掩模缺陷检测设备和晶圆缺陷检测设备的研发、生产与销售，是国内极少数实现光掩模缺陷检测设备规模化量产的企业之一，其产品已进入中芯国际、路维光电、清溢光电、龙图光罩等国内头部晶圆厂及掩膜版厂商的量产线，核心技术和零部件实现自主可控。