半导体设备主线地位确立，半导体设备ETF华夏（562590）连续10天净流入，科创半导体ETF（588170）连续3天净流入

截至2026年1月20日 11:15，中证半导体材料设备主题指数下跌0.26%。成分股方面涨跌互现，神工股份领涨10.63%，江化微上涨9.99%，华海诚科上涨8.87%；芯源微领跌4.07%，中微公司下跌2.81%，中船特气下跌2.51%。半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.44%。从资金净流入方面来看，半导体设备ETF华夏近10天获得连续资金净流入，最高单日获得3.65亿元净流入，合计“吸金”17.94亿元，日均净流入达1.79亿元。

截至2026年1月20日 11:23，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.15%，成分股神工股份上涨13.68%，华海诚科上涨12.02%，兴福电子上涨7.27%，富创精密上涨4.50%，艾森股份上涨3.74%。科创半导体ETF（588170）上涨0.11%。从资金净流入方面来看，科创半导体ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日获得9.88亿元净流入，合计“吸金”16.57亿元，日均净流入达5.52亿元。

东吴证券预测，2026年AI驱动，国产半导体设备将开启确定性强的扩产周期，全行业订单增速或将超过30%。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（60%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），指数中半导体设备（63%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。