半导体设备板块今日高开高走，截至收盘，中证云计算与大数据主题指数下跌0.4%，中证芯片产业指数上涨1.9%，中证半导体材料设备主题指数上涨7.3%，半导体设备ETF易方达（159558）全天净申购超1.1亿份。Wind数据显示，该ETF此前连续6个交易日获资金净流入，合计3.6亿元。
有分析表示，在AI浪潮和国产化大背景下，国内先进产线未来扩产需求持续存在，半导体设备作为晶圆代工扩张的基石，同时是实现产业链自主可控的重要环节，国产半导体设备企业有望迎来发展机遇。
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