科创半导体ETF（588170）涨超3.7%，中芯国际涨超6%，研发费用超38亿

截至2025年12月22日 13点42分，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨4.06%，成分股艾森股份上涨13.25%，神工股份上涨9.40%，拓荆科技上涨9.32%，中芯国际涨超6%。科创半导体ETF（588170）上涨3.72%。

消息面上，中芯国际三季报显示研发费用38.22亿元，位列半导体公司前列，领先北方华创（32.85亿元）、海光信息（25.86亿元）。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。