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昊华科技：现有三氟化氮产能5000吨/年 应用于集成电路制造的蚀刻、清洗等环节

每日经济新闻 2025-11-25 17:33

每经AI快讯，11月25日，昊华科技在互动平台表示，公司现有三氟化氮产能5000吨/年，公司正在四川自贡沿滩基地新建6000吨/年三氟化氮项目，项目一期3000吨装置已投产。公司三氟化氮产品主要应用于集成电路制造的蚀刻、清洗等环节。

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