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国林科技：公司的电子级超纯臭氧气体发生器和臭氧气体输送系统可应用于生产ald原子层沉积

每日经济新闻 2025-08-11 08:57

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司有生产ald原子层沉积专用臭氧设备吗？

国林科技（300786.SZ）8月11日在投资者互动平台表示，公司的电子级超纯臭氧气体发生器和臭氧气体输送系统可应用于该工艺。

（记者 王瀚黎）

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