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    盛美上海单晶圆高温SPM设备通过验证

    每日经济新闻 2025-03-04 09:16

    每经AI快讯，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”）今日宣布其单晶圆中/高温硫酸过氧化混合物（SPM）设备已成功通过一家逻辑芯片制造商的大批量制造验证。截至目前，该设备已交付了13家客户。

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