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中国电科:30台套SiC外延设备顺利发货

每日经济新闻 2025-02-09 23:46

每经AI快讯,2月9日,据中国电科官微消息,SiC外延设备是第三代半导体SiC器件制造的核心关键设备之一。装载着30台套SiC外延设备从中国电科48所园区顺利发货,这也是48所实现首次大规模批量发货。目前,该设备已成功出货百余台套,并在客户现场稳定运行。

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