北交所上市公司凯德石英新增专利信息授权：“一种外延工艺用流道盖板”

每经讯，据启信宝，北交所上市公司凯德石英（835179）新增专利信息，专利权人为凯德石英，发明人是张忠恕、边占宁、刘利、陈强、张连兴、冯继瑶、于洋、周洁、王志刚、赵晓亮、李翔星、卢亮。专利授权日为2024年11月12日，专利名称为“一种外延工艺用流道盖板”，专利类型为中国实用新型专利，专利申请号为CN202420625732.9。

该专利摘要显示：本申请涉及气相成膜技术的领域，提供一种外延工艺用流道盖板，其包括成膜板和加强板，所述加强板平行于所述成膜板设置，且所述加强板位于所述成膜板的上方，所述成膜板的左右两侧均连接有支撑侧板；所述支撑侧板的一侧用于与对象结构抵接，另一侧与所述加强板连接。本申请具有在确保盖板本身不至于承受过大压力的同时，兼顾单晶薄膜的成膜效率的效果。

(记者 曾健辉)

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