新三板创新层公司立光电子新增专利信息授权：“一种磁控溅射旋转阴极结构”

每经讯，据启信宝，新三板创新层公司立光电子（874135）新增专利信息，专利权人为立光电子，发明人是胡超川、傅强、朱磊、毛祖攀。专利授权日为2024年10月29日，专利名称为“一种磁控溅射旋转阴极结构”，专利类型为中国实用新型专利，专利申请号为CN202420568697.1。

该专利摘要显示：本实用新型公开了一种磁控溅射旋转阴极结构，所述结构包括结构主体，所述结构主体包括工艺气路，工艺气路包括主气管和多段辅助气管分段调节，所述结构主体还包括端头护罩、上端支撑护罩、靶材卡箍护罩，本方案采用分段布气，采用主气管和多段辅助气管分段调节，主气管量程1000sccm，通入50‑300sccm氩气，50‑300sccm氧气，通过质量流量计混合后进入真空箱体阴极靶位处，七段辅助气管通入氩气、氧气有效改善均匀性，辅助气管量程100sccm，通入0‑50sccm氩气、0‑50sccm氧气，依据测试均匀性结果分别调整通入气体量，有效改善均匀性。

(记者 曾健辉)

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