每经讯,据启信宝,新三板创新层公司立光电子(874135)新增专利信息,专利权人为立光电子,发明人是胡超川、傅强、朱磊、毛祖攀。专利授权日为2024年10月29日,专利名称为“一种磁控溅射旋转阴极结构”,专利类型为中国实用新型专利,专利申请号为CN202420568697.1。
该专利摘要显示:本实用新型公开了一种磁控溅射旋转阴极结构,所述结构包括结构主体,所述结构主体包括工艺气路,工艺气路包括主气管和多段辅助气管分段调节,所述结构主体还包括端头护罩、上端支撑护罩、靶材卡箍护罩,本方案采用分段布气,采用主气管和多段辅助气管分段调节,主气管量程1000sccm,通入50‑300sccm氩气,50‑300sccm氧气,通过质量流量计混合后进入真空箱体阴极靶位处,七段辅助气管通入氩气、氧气有效改善均匀性,辅助气管量程100sccm,通入0‑50sccm氩气、0‑50sccm氧气,依据测试均匀性结果分别调整通入气体量,有效改善均匀性。
(记者 曾健辉)
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