华海清科(688120)8月16日晚间公告，拟投资建设“上海集成电路装备研发制造基地项目”，总投资金额不超过16.98亿元。同日公告，上半年营业收入14.97亿元，同比增长21.23%；净利润4.33亿元，同比增长15.65%。随着公司CMP产品的市场保有量不断扩大，关键耗材与维保服务等业务规模逐步放量，同时晶圆再生及湿法装备收入逐步增加，上半年公司营业收入及净利润均较同期增长。
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