国林科技（300786.SZ）5月30日在投资者互动平台表示，公司电子级超纯臭氧气体发生器可产生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧，臭氧在电子工业领域可被广泛用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光 刻胶去除和多种清洁应用；公司暂未涉及光 刻机业务。
(记者 蔡鼎)
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