每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司用于半导体光刻胶的缺陷检测扫描电镜，可用于那一类的光刻胶g线，i 线，KrF，ArF？
钢研纳克（300797.SZ）12月5日在投资者互动平台表示，公司子公司纳克微束生产的场发射扫描电镜可以用于相关材料缺陷分析，分辨率达到了纳米级。
(记者 蔡鼎)
免责声明：本文内容与数据仅供参考，不构成投资建议，使用前核实。据此操作，风险自担。
1本文为《每日经济新闻》原创作品。
2 未经《每日经济新闻》授权，不得以任何方式加以使用，包括但不限于转载、摘编、复制或建立镜像等，违者必究。
每日经济新闻客户端