每日经济新闻

    至纯科技：公司半导体清洗设备用于晶圆制造各工艺环节的前后，包括光刻环节前后工序

    每日经济新闻 2023-11-29 17:28

    每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司半导体清洗是否用于光刻环节？

    至纯科技（603690.SH）11月29日在投资者互动平台表示，公司半导体清洗设备用于晶圆制造各工艺环节的前后，包括光刻环节前后工序。

    (记者 毕陆名)

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