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中微公司:公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多工艺的制程要求

每日经济新闻 2023-11-24 16:51

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:贵司刻蚀设备能否满足先进制程逻辑芯片7nm所有需求吗?或者能覆盖多少?

中微公司(688012.SH)11月24日在投资者互动平台表示,公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多工艺的制程要求。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。

(记者 毕陆名)

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