中科飞测：公司90nm及以上工艺节点的套刻精度量测设备已实现批量销售

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：您好，公司2023年上半年套刻精度检测设备跟金属薄膜量测设备业绩情况还不错，我想了解一下这部分订单是哪一年的下单订单的反馈，这部分订单体量分别是多少？

中科飞测（688361.SH）11月3日在投资者互动平台表示，公司90nm及以上工艺节点的套刻精度量测设备已实现批量销售，对应2Xnm工艺节点测量需求的设备也已获得多个国内领先客户的订单。公司金属薄膜膜厚量测设备市场认可进一步提升，覆盖更多集成电路客户需求。

(记者 蔡鼎)

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