高性能大面积碳化硼薄膜在中国散裂中子源研制成功

2023-10-17 05:34

每经AI快讯，记者16日从中国散裂中子源（CSNS）获悉，CSNS探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置，近日成功制备出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品，单片面积达到1500毫米×500毫米，薄膜厚度1微米，全尺寸范围内厚度均匀性优于±1.32%，是目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜。（科技日报）