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至纯科技:半导体湿法设备主要聚焦在芯片制造的前道工艺,覆盖光刻、刻蚀、薄膜、离子注入等

每日经济新闻 2023-10-12 16:42

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:贵公司生产的所有相关的半导体设备中,是否有可以用于先进封装的设备?如果有是哪种设备?用于哪种形式的先进封装?是否有订单?是否被追加订单?

至纯科技(603690.SH)10月12日在投资者互动平台表示,公司的半导体湿法设备主要聚焦在芯片制造的前道工艺,覆盖光刻、刻蚀、薄膜、离子注入等关键工艺工序段。

(记者 毕陆名)

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