固高科技： 前道设备这部分的营收目前规模不大，整体上仍处于批量应用部署前期

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：董秘您好，公司的部件、系统在整个半导体设备的多个工艺单元设备中都在做积极推进，相对而言，后道设备进展较快，整体上进入市场批量部署阶段。前道设备中的应用推进相对滞后一些，整体上仍处于批量应用部署前期，目前这部分的营收规模也不大。请问在半导体前道设备中的应用，这部署前期营收规模不大的部分，，请问具体是前道光刻设备的应用还是蚀刻、清洗应用。谢谢！请解释具体一些，麻烦了，

固高科技（301510.SZ）9月19日在投资者互动平台表示，半导体加工工艺复杂，前道加工主要包括光刻、蚀刻、清洗、沉积等，另外晶硅生长、硅片加工相关设备也归类为前道设备。 公司的部件、系统类产品在前道加工的多个工艺节点设备在做积极的尝试与应用拓展。 前道设备这部分的营收目前规模不大，整体上仍处于批量应用部署前期，请投资者谨慎评估相关风险。

(记者 蔡鼎)

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