国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院澄清：这是北京高能同步辐射光源

2023-09-18 18:21

每经AI快讯，近期，一则消息在各大视频平台广为传播，称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化，实现了光刻机国产化，并表示这个项目已经在雄安新区落地。对此，中国电子工程设计院有限公司（下称中国电子院）9月18日发声，称该项目并非网传的国产光刻机工厂，而是北京高能同步辐射光源项目（HEPS）。（澎湃新闻）