每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：中科飞测已经量产28nm量测了，公司的前道晶圆检测28nm什么时候出样品？
天准科技（688003.SH）9月18日在投资者互动平台表示，天准科技参股的苏州矽行半导体的面向28nm技术节点的明场检测设备，目前正在研发中。
(记者 蔡鼎)
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