固高科技：短期内，公司相关部件、系统在半导体前道设备中相关业务对企业整体营收影响有限

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：董秘你好，公司2023年上半年已经取得一种光刻机运动轨迹规划方法的专利，是否未来可以用于光刻机上？谢谢

固高科技（301510.SZ）9月12日在投资者互动平台表示，公司长期专注于运动控制及智能制造的核心技术研发，面向以半导体精密加工装备、工业机器人、数控机床为代表的高端设备领域形成了运动控制、伺服驱动、多维感知、工业现场网络、工业软件等自主可控的技术、产品体系。 具体在半导体设备领域，公司的部件、系统类产品在芯片后道封装设备中已有一定应用部署量；在以光刻、蚀刻、清洗为代表的半导体前道设备内所需的控制、伺服等技术、产品，公司也一直在持续研发迭代技术与产品，并积极拓展相关应用场景。 整体来看，公司认为未来五到十年是半导体前道设备国产化机遇期，也是其中伺服控制部件、系统等产品的重要机遇期，企业将持续迭代、完善技术与产品，完成产业化能力建设，服务行业。短期内，公司相关部件、系统在半导体前道设备中相关业务对企业整体营收影响有限，请投资者谨慎关注。

(记者 尹华禄)

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