天准科技：天准参股公司矽行半导体专注于半导体前道晶圆的微观缺陷检测设备，尚未涉足半导体其它设备

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：了解到公司孙公司MueTec是在半导体宏观检测领域、参股联营的的苏州矽行在半导体检测微观领域企业，查询公司网站公司产品在半导体领域包含掩模测量，请问贵公司或子公司等在半导体光刻领域有何技术储备和建树？谢谢

天准科技（688003.SH）9月12日在投资者互动平台表示，天准子公司MueTec专注于半导体前道晶圆量测设备，主要产品包括套刻误差量测设备、掩模版量测检测设备、半导体晶圆红外量测检测设备等；天准参股公司矽行半导体专注于半导体前道晶圆的微观缺陷检测设备，尚未涉足半导体其它设备。

(记者 尹华禄)

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