每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：28nm的明场缺陷检测设备国内是否有其他厂商目前已经有能力生产交付？谢谢。
天准科技（688003.SH）9月6日在投资者互动平台表示，近日，天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用，28nm节点检测设备正在研发中。
(记者 尹华禄)
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