英杰电气：公司在第三代半导体材料碳化硅制造设备上有电源配套，也属于进口替代产品

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司在锗Ge、硅Si等至第四代Ga2O3、金刚石C等半导体材料方面的电源产品是已经有实现销售了吗？对应下游客户是哪一类？ 就是公司公众号文章说，公司在半导体制程电源方面实现了多个产品的进口替代，其中有包括离子注入机、刻蚀机和薄膜沉积设备的电源吗？

英杰电气（300820.SZ）7月4日在投资者互动平台表示，公司在第三代半导体材料碳化硅制造设备上有电源配套，也属于进口替代产品，目前该行业主流厂商和公司均有业务。MOVCD设备上的可编程直流电源，公司已经实现多年的进口替代，今年在刻蚀、离子注入等工艺环节也有进口替代的电源研发，目前处于样机后期测试阶段。

(记者 毕陆名)

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