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中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺全覆盖

2023-06-29 11:07

每经AI快讯,记者29日从中国电子科技集团有限公司获悉,该集团旗下中电科电子装备集团有限公司已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖,有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。(新华社)

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