新三板创新层公司富耐克新增专利信息授权：“一种晶片抛光用耐磨抛光垫”

每经讯，据启信宝，新三板创新层公司富耐克（831378）新增专利信息，专利权人为富耐克，发明人是雷君、王彬彬、李和鑫。专利授权日为2023年6月23日，专利名称为“一种晶片抛光用耐磨抛光垫”，专利类型为中国实用新型专利，专利申请号为CN202223278384.2。

该专利摘要显示：一种晶片抛光用耐磨抛光垫，涉及抛光技术领域，包括基体，基体的材质为聚晶立方氮化硼，基体的上表面形成抛光面，抛光面上均匀分布有若干凸起，相邻两凸起之间形成沟槽，本实用新型提供的抛光垫硬度均匀性一致，耐磨性及导热性优异，显著提高材料的物理机械性能，满足强度和韧性的基础上，具备较低的内生热及更好的动态性能，使其更适用于高速、高承载等动态性能要求高的工作环境中；且聚晶立方氮化硼抛光垫表面立体的结构，能够减少抛光垫与晶圆的相互机械作用力，促进热量的疏散，同时沟槽有助于抛光后的残渣或抛光副产物的及时排出，不存在阻塞抛光垫表层中的微孔问题。

(记者 曾健辉)

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