英诺激光：公司曾向ASM LASER提供过激光器

2023-06-13 10:53

每经AI快讯，英诺激光6月13日在投资者互动平台表示，公司曾向ASM LASER SEPARATION INTERNATIONAL B.V.提供过激光器。公司在半导体领域持续投入研发，目前提供的产品以碳化硅退火制程的激光器为主，亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器，客户以国外知名半导体装备公司为主。