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    南大光电:公司开发了多款ArF光刻胶在下游客户处验证,制程覆盖90nm~28nm

    每日经济新闻 2023-06-02 15:24

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:尊敬的陆总,请问多个品种28nm光刻胶验证有没有进入批量验证阶段的?

    南大光电(300346.SZ)6月2日在投资者互动平台表示,公司开发了多款ArF光刻胶在下游客户处验证,制程覆盖90nm~28nm,各款产品的验证进度不一。具体进展请关注相关信息披露。

    (记者 王可然)

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