盛美上海：目前公司PECVD设备仍处于验证阶段

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司2022年已推出前道薄膜沉积PECVD设备是通过客户验证了吗？截止到目前为止有订单吗？公司对此类设备今年的预期是什么？

盛美上海（688082.SH）5月16日在投资者互动平台表示，目前公司PECVD设备仍处于验证阶段。该产品在工艺上具备与国际一流公司相竞争的差异化技术创新，能够同时满足更均匀、更少颗粒、更小的薄膜应力的要求，具备较好的市场开拓潜力。公司正在与多家客户洽谈DEMO订单。

(记者 蔡鼎)

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