每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司的自行研发的面向半导体前道微观缺陷检测装备是纳米图形晶圆缺陷检测设备还是属于有图形晶圆缺陷检测设备？
天准科技（688003.SH）5月10日在投资者互动平台表示，公司参股的苏州矽行半导体有限公司，正在开发有图形晶圆缺陷检测设备，目前已经形成原型样机，进入内部测试阶段。
(记者 毕陆名)
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