晶瑞电材：目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中

2023-05-08 20:38

每经AI快讯，5月8日，晶瑞电材在投资者关系活动记录表中称，公司i线光刻胶已向中芯国际、合肥长鑫等国内的知名大尺寸半导体厂商供货；KrF光刻胶生产及测试线已经建成，且KrF光刻胶部分品种已于2022年开始量产，今年将发力拓展新客户；公司于2020年启动了集成电路制造用高端光刻胶研发项目，并于2020年下半年购买了ASML1900 Gi型光刻机及配套设备，目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中。