每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司14-28 nm先进制程用的高端Arf-immersion光刻胶进展如何，是否有送样，什么时候量产？
南大光电（300346.SZ）4月21日在投资者互动平台表示，公司正在认证的ArF光刻胶主要集中在90nm~28nm工艺节点，目前有多款产品正在下游客户处验证。规模量产时间需要根据客户订单情况确定。
(记者 王可然)
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