每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：麻烦问下，咱南大光电产品系中，除了光刻外，在芯片的清洁、沉积、蚀刻等，还有对应的产品吗？
南大光电（300346.SZ）4月4日在投资者互动平台表示，公司氟类电子特气如三氟化氮主要用于芯片制造中的腔体清洗、蚀刻工艺。
(记者 王可然)
免责声明：本文内容与数据仅供参考，不构成投资建议，使用前核实。据此操作，风险自担。
1本文为《每日经济新闻》原创作品。
2 未经《每日经济新闻》授权，不得以任何方式加以使用，包括但不限于转载、摘编、复制或建立镜像等，违者必究。
每日经济新闻客户端