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钢研纳克:公司的场发射扫描电镜可用于芯片集成电路领域

每日经济新闻 2023-03-30 17:05

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:你好!请问公司哪些仪器设备可以用于芯片集成电路领域检测?

钢研纳克(300797.SZ)3月30日在投资者互动平台表示,公司的场发射扫描电镜可用于芯片集成电路领域,如,光刻胶缺陷分析、硅片表面残留等;电感耦合等离子体质谱可用于高纯靶材检测、高纯试剂分析等。

(记者 陈鹏程)

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