炬光科技：公司的光场匀化器产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司目前光刻机零部件供应情况如何，是否与上海微电子有合作？

炬光科技（688167.SH）3月22日在投资者互动平台表示，公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器，供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备；同时，公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，公司的光场匀化器产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。公司在招股书“与半导体光刻产业的融合情况”中原文“公司是A公司重要供应商。同时也为中国科学院、上海微电子装备（集团）股份有限公司、美国科磊半导体等行业知名半导体集成电路设备科研和生产机构提供相关产品。”

(记者 姚祥云)

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