南大光电：公司ArF光刻胶目前主要集中在90nm-28nm制程工艺的验证

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问老师，现目前贵司光刻胶验证转成客户自验或者外部机构验证，从理论上讲是可以提升一个档次，用于14nm验证了。在国内先进制程芯片代工企业，缺陷检测分析仪器是不缺的，请问贵司现目前有没打算在14nm制程去验证呢？

南大光电（300346.SZ）3月21日在投资者互动平台表示，公司ArF光刻胶目前主要集中在90nm-28nm制程工艺的验证，产品质检主要依靠公司购置的光刻机及其他辅助检测设备。

(记者 陈鹏程)

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