每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问贵公司子公司拥有的光刻机生产多少纳米的芯片,产能多少?谢谢
英唐智控（300131.SZ）3月20日在投资者互动平台表示，公司子公司日本英唐微技术所拥有的光刻机最小可支持0.35um工艺，目前英唐微技术拥有一条6英寸硅基晶圆生产线，月产能在5,000片晶圆左右。
(记者 王瀚黎)
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