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晶瑞电材:子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品已通过部分重要客户测试

每日经济新闻 2023-03-13 15:58

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:请问公司KrF(248nm深紫外)光刻胶产品分辨率是否达到了0.25~0.13μm的技术要求?并且通过部分重要客户测试?谢谢!

晶瑞电材(300655.SZ)3月13日在投资者互动平台表示,公司子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了 0.25~0.13μm 的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF高端光刻胶部分品种已量产。

(记者 王瀚黎)

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