三孚股份：电子级三氯氢硅主要应用于硅外延片及碳化硅行业

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司有有哪些产品应用于集成电路制造？

三孚股份（603938.SH）3月8日在投资者互动平台表示，公司产品电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅和电子级四氯化硅，均为电子特气。 电子级三氯氢硅主要应用于硅外延片及碳化硅行业。 电子级二氯二氢硅主要应用于逻辑芯片和存储芯片及硅基前驱体等领域。 电子级四氯化硅主要用于薄膜沉积与蚀刻工艺，随着半导体制程的先进化，电子级四氯化硅被广泛使用于逻辑芯片与存储芯片的蚀刻工艺流程。

(记者 王瀚黎)

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